X射線熒光光譜儀是根據(jù)X射線熒光光譜分析方法配置的多通道X射線熒光光譜儀，能夠分析固體或粉狀樣品中各種元素的成分含量，具有靈敏度高、精密度好、性能穩(wěn)定、分析速度快等特點(diǎn)，是一種中型、經(jīng)濟(jì)、高性能的波長色散X射線光譜儀。

　　X射線熒光光譜儀由激發(fā)源（X射線管）和探測系統(tǒng)構(gòu)成。X射線管產(chǎn)生入射X射線（一次X射線），激發(fā)被測樣品。受激發(fā)的樣品中的每一種元素會放射出二次X射線，并且不同的元素所放射出的二次X射線具有特定的能量特性或波長特性。探測系統(tǒng)測量這些放射出來的二次X射線的能量及數(shù)量。然后，儀器軟件將探測系統(tǒng)所收集到的信息轉(zhuǎn)換成樣品中各種元素的種類及含量。

　　X射線熒光光譜儀特點(diǎn)：

　　（1）熒光分析的主要特點(diǎn)是靈敏度高、選擇性好，熒光分析的靈敏度要比吸收光譜測量高2-3個數(shù)量級。分光光度法通常在 10-7 級，而熒光的靈敏度達(dá)10-9。

　　（2）強(qiáng)選擇性強(qiáng)，熒光物質(zhì)具有兩種特征光譜：激發(fā)光譜和吸收光譜，相對于分光光度法單一的吸收光譜來說，熒光光譜可根據(jù)激發(fā)光譜和發(fā)射光譜來鑒定物質(zhì)。

　　（3）信息量豐富，能提供熒光物質(zhì)的多種參數(shù)。

　　（4）但是熒光分析方法也有其不足之處：①很多物質(zhì)本身不發(fā)熒光；②熒光的產(chǎn)生與化合物結(jié)構(gòu)的關(guān)系不明確；③干擾因素多，光分解、氧淬滅、易污染。

　　X射線熒光光譜儀開機(jī)的操作步驟：

　　1、開啟斷電保護(hù)開關(guān)，同時檢查有無異常現(xiàn)象，如有跳閘情況出現(xiàn)，應(yīng)查明原因；

　　2、開啟穩(wěn)壓電源開關(guān)，如是UPS，則后面的旁路開關(guān)必須處于關(guān)閉狀態(tài)；

　　3、開啟儀器主機(jī)電源開關(guān)，主機(jī)就緒后開啟計(jì)算機(jī)，打開儀器附件，連接就緒后運(yùn)行儀器工作站，檢查儀器連接有無異常，檢查儀器真空度。

　　4、順時針90°擰動主機(jī)前的鑰匙開啟高壓開關(guān)，檢查X光管冷卻水流量、液氮的液位以及溫度，正常后開啟探測器高壓。

　　5、儀器穩(wěn)定后對儀器進(jìn)行校正，了解儀器的運(yùn)行狀況。